Edwards真空分子泵维修联系方式-广东潽拓光电-广州潽拓光电科技有限公司

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广州潽拓光电科技有限公司

主营产品：分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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潽拓——{精}，分子泵

广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——{精}，分子泵

出售Edwards ext75i涡轮分子泵及提供维修保养服务

广州潽拓——爱德华真空真空泵, EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，采用成熟的轴承技术，上轴承为性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并采用Holweck拖曳分级技术，可以DC 24V直接驱动，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。